Kalrez
반도체 공정에 있어 높은 순도는 곧 높은 Wafer yield로 이어집니다. 따라서 국내외 유수의 반도체 제조사들은 Seal 성능 저하로 인해 발생할 수 있는 Particle, Outgassing, Extractable의 감소를 위해 많은 노력을 기울이고 있습니다. 이러한 요구를 반영하여 가혹한 공정 환경에 적합한 다수의 Kalrez® O-ring이 개발되었으며 이를 통해 타 제품과 차별화된 Sealing Performance을 제공합니다.
| 적용 부위 | 공정 환경 | 기존 제품 성능 | Kalrez 적용 결과 | |
|---|---|---|---|---|
| PM 주기 연장 | Slit valve door Inner gas manifold ring MESC flange insert Iso-poppet |
HDPCVD IMD / STI Gas: SiH4, He, O2 Plasma: NF3, O2 |
경쟁사 제품(FFKM) PM 주기 90일 일부 제품 1~2개월 사용 후 Particle 및 Leak 발생 |
Kalrez 9100를 적용하여 기존 제품 대비 PM 주기 최소 2배, 최대 6배 증가 |
| Particle 발생 감축 | Slit valve door seal | Tungsten CVD Gas: WF3 Plasma: NF3 |
경쟁사 제품(KKFM) 사용시 기준치 이상의 Particle 발생 |
Kalrez 8085를 적용하여 기존 제품 대비 Particle 발생 51% 감소, 결함 발생 33% 감소 |
| Leak 발생 해소 | E-Chunk top O-ring | HDPCVD STI Gas: SiH4, He, O2 Plasma: NF3 |
경쟁사 제품(FFKM) 50,000 wafer cycle 사용 후 Leak 발생 |
Kalrez 8002를 적용하여 기존 제품 대비 Particle 발생 51% 감소, 결함 발생 33% 감소 |
| 화학적 저항성 개선 | O-rings Wafer lip seal Robot arm suction cup |
Electrochemical plating(ECP) O3, H2SO4, CuSO4, Citric acid, UPDI |
경쟁사 제품(FKM) 사용시 Seal degradation으로 인한 Sticking에 의해 Wafer 후면 오염 및 금속 잔류 발생 |
경쟁사 FFKM, FKM, EPDM 제품과 비교하여 Kalrez 6375UP가 화학적 호환성 및 Extractable 측면에서 가장 우수한 성능을 보임 |
Slit valve door
Inner gas manifold ring
MESC flange insert
Iso-poppet
공정 환경HDPCVD IMD / STI
Gas: SiH4, He, O2
Plasma: NF3, O2
기존 제품 성능경쟁사 제품(FFKM) PM 주기 90일
일부 제품 1~2개월 사용 후 Particle 및 Leak 발생
Kalrez 적용 결과Kalrez 9100를 적용하여 기존 제품 대비 PM 주기
최소 2배, 최대 6배 증가
Slit valve door seal
공정 환경Tungsten CVD
Gas: WF3
Plasma: NF3
기존 제품 성능경쟁사 제품(KKFM) 사용시 기준치 이상의 Particle 발생
Kalrez 적용 결과Kalrez 8085를 적용하여 기존 제품 대비 Particle 발생 51% 감소, 결함 발생 33% 감소
E-Chunk top O-ring
공정 환경HDPCVD STI
Gas: SiH4, He, O2
Plasma: NF3
기존 제품 성능경쟁사 제품(FFKM) 50,000 wafer cycle 사용 후 Leak 발생
Kalrez 적용 결과Kalrez 8002를 적용하여 기존 제품 대비 Particle 발생
51% 감소, 결함 발생 33% 감소
O-rings
Wafer lip seal
Robot arm suction cup
공정 환경Electrochemical plating(ECP)
O3, H2SO4, CuSO4, Citric acid, UPDI
기존 제품 성능경쟁사 제품(FKM) 사용시 Seal degradation으로 인한 Sticking에 의해 Wafer 후면 오염 및 금속 잔류 발생
Kalrez 적용 결과경쟁사 FFKM, FKM, EPDM 제품과 비교하여 Kalrez 6375UP가 화학적 호환성 및 Extractable 측면에서 가장 우수한 성능을 보임