Featured Products
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Heater
일반도체 실리콘 웨이퍼와 직접 컨택하면서, 웨이퍼의 전 영역을 균일하게 최소 온도편차를 유지하며 가열하는 것이 Heater의 핵심기술로 반도체 제조 공정에 필요한 핵심 부품 중의 하나입니다
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Kalrez
DuPont의 Kalrez는 탄소 – 불소 결합을 기본으로 한 폴리머로 구성된 제품으로 반도체 및 디스플레이의 공정 환경에서 견디기 힘든 조건에서도 Sealing성능을 유지할 수 있도록 개발된 제품입니다.
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Welded Metal Bellows
Bellows는 제품 내/외부의 기밀을 유지하며 상하좌우 운동과 압축과 인장이 가능한 부품입니다. 신축성과 우수한 기밀성을 갖추고 있으며, 고 수명으로 산업 전반에서 광범위하게 사용되고 있습니다.
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Ferrofluidic Seal
두 폴피스 사이에 영구 자석을 장착 후 자기장을 형성하여 폴피스와 스테이지 사이의 자성유체를 자기장으로 구속하는 원리의 밀봉장치로 완전한 회전축의 밀봉을 가능하게 하는 장치입니다