연혁
2004 ~ 2010 미래 성장동력 기반 활성화
-
2004. 05
케이에스엠컴포넌트
법인 설립 -
2005. 05
'반도체 웨이퍼용
Aluminum Heater'개발 -
2005. 06
DUPONT사와
'Kalrez O-ring'
독점판매 대리점
계약 체결 -
2006. 03
'반도체 PVD 공정용
Metal Heater'개발 -
2007. 04
일 FerroTec 사와 합작
케이에스엠페로텍 법인 설립 -
2008. 08
케이에스엠컴포넌트
기흥사무소 설립
(경기도 화성시 능동) -
2009. 11
'반도체 Dry Etching 장비용
Heating Plate' 개발 - 2010. 07 ‘Ingot 성장장비용 자성유체씰’ 개발
- 2010. 08 반도체 Metal Heater TUV 인증 획득
