KSM

Heater

什么是加热器?

  • 加热器用于半导体CVD, Etch等工艺,是半导体设备的核心部件 。
  • 加热器直接与硅片接触,其核心技术是以最小的温度偏差把整片硅片均匀地加热。
  • 世界顶尖技术∙诀窍
  • 独创的精密制造工艺
  • 迅速的服务∙响应