KSM

Kalrez

Kalrez® 재질 특성
재질, 이미지, 색상, 경도 (Shore A), 지속적 사용가능 온도(℃), 영구압축 줄음률(70hr, 204℃, %), 100% 모듈러스(MPa), 파괴시 인장강도(MPa), 파괴시 신장률(%)
재질 이미지 색상 경도 (Shore A) 지속적 사용
가능 온도(℃)
영구압축
줄음률
(70hr, 204℃, %)
100%
모듈러스(MPa)
파괴시
인장강도(MPa)
파괴시
신장률(%)
9500 황갈색 75 310 20 9.50 17.5 205
9300 갈색 74 300 20 6.66 16.57 215
9100 호박색 68 300 18 4.76 13.78 233
6005 반투명 흰색 69 275 15 2.40 14.2 255
8002 투명 69 275 15 2.88 15.95 246
8085 베이지 80 240 42 7.50 16.3 159
8900 검정 73 325 9 12.21 20.75 137
7075 검정 75 327 12 7.58 17.91 160
8475 흰색 60 300 23 2.20 11.35 225
8575 흰색 62 300 29 2.47 12.04 230
6375 검정 75 275 25 7.23 15.16 160
4079 검정 75 316 25 7.23 16.88 150
공정별 추천 재질

Plasma Process

각 공정별로 굵은 글씨의 재질을 추천 드립니다.
공정, Seal 온도, 공정 환경, 추천 재질, 적용 부위
공정 Seal 온도 공정 환경 추천 재질 적용 부위
PE-CVD ALD 25-200°C TMS, DEMS, TEOS, SiH4,
C3H6, NH3, SiF4, O2, N2O, NF3
9100
9500
  • 구동부

    • - Door seal
    • - Gate valve
    • - Pendulum valve
  • 고정부

    • - Chamber lid seal
    • - Exhaust valve
    • - Gas inlets / outlet
    • - Window seal
    • - Center ring
  • 운반부

    • - End effecter pad
    • - Transport roller
HDP-CVD 25-200°C TEOS, SiH4, NH3, SiF4, O2,
C2F6, N2O, NF3, CF4,
9100
8002
SA-CVD 25-200°C TEP, TEBO, TEOS, O3, NF3 9500
8085
Ashing / Stripping 25-200°C O2, CF4, CHF3, NH3,
H2O Vapor, Forming Gas
9500
8002
6005
Dielectric Etch 25-200°C CF4, C3F8, CHF3, SF6, O2, H2 9300
9500
6005
8002
Conductor Etch 25-200°C CF4, CHF3, HBr, BCl3, CCl4, Cl2 9500
9100
6005
8002

Thermal Process

각 공정별로 굵은 글씨의 재질을 추천 드립니다.
공정, Seal 온도, 공정 환경, 추천 재질, 적용 부위
공정 Seal 온도 공정 환경 추천 재질 적용 부위
Metal-CVD
ALD
LP-CVD
25-300°C Organic Precursors,
WF6, TiCl4, SiH4, HF,
F2, Cl2, ClF3, NF3,
H2O Vapor, O2, O3
8900
9100
7075
4079
    • - Quartz chamber seal
    • - Fitting
    • - Center ring
    • - Plenum seal
Oxidation
Diffusion
150-300°C N2, O2, H2O, HCl, Cl2 8900
7075
Lamp Anneal
RTP
150-300°C Resistance to
IR absorption
8475

Chemical Process

각 공정별로 굵은 글씨의 재질을 추천 드립니다.
공정, Seal 온도, 공정 환경, 추천 재질, 적용 부위
공정 Seal 온도 공정 환경 추천 재질 적용 부위
Wafer Prep 25-125°C UPDI, Piranha, SC-1, SC-2,
O3, HF(49%)
6375
4079
    • - Door / Lid seal
    • - Drain seal
    • - Seal for chemical
    • - container
    • - Fitting
    • - Seal for filter /
    • - connector
    • - Flow meter
Etching 25-180°C HNO3, HF, H2O,
H3PO4, HNO3,
Photolithography 25-125°C H2SO4 + Oxidant
Organic Acids, nMP
Stripping 25-125°C nMP / Alkanolamine
Hydroxlamine
6375
Copper Plating 25-100°C CuSO4 Solution
H2SO4, H2O2
6375