KSM

Kalrez

Plasma Process
Kalrez® 9500, Kalrez® 9300, Kalrez® 9100, Kalrez® 6005, Kalrez® 8002, Kalrez® 8085
Kalrez® 9500
  • 높은 온도에 대해 뛰어난 내열성을 가진 제품
  • Sticking 및 Outgassing 부분을 개선함
Kalrez® 9300
  • 물리적, 화학적 플라즈마에 대한 균형 잡힌 저항성을 가진 제품
  • 금속 Particle 발생 최소화
Kalrez® 9100
  • 플라즈마로 인한 Particle 발생 및 Erosion을 최소화한 제품
  • 건식 공정에서 우수한 저항성을 가짐
Kalrez® 6005
  • Etch, Ashing, Stripping 공정 등에 특화된 제품
  • 높은 온도에서 낮은 Sticking 특성을 가짐
Kalrez® 8002
  • 산소 및 불소계 플라즈마로 인한 Particle 발생을 최소화한 제품
  • 낮은 영구압축줄음률을 가짐
Kalrez® 8085
  • NF3 플라즈마 환경에서 Particle 발생을 최소화한 제품
  • 높은 기계적 강도를 갖도록 고안됨
Thermal Process
Kalrez® 8900, Kalrez® 7075, Kalrez® 8475, Kalrez® 8575
Kalrez® 8900
  • 높은 온도에 대해 뛰어난 내열성을 가진 제품
  • Sticking 및 Outgassing 부분을 개선함
Kalrez® 7075
  • 높은 온도에서 기계적 특성을 유지하는 제품
  • 낮은 영구압축줄음률을 가짐
Kalrez® 8475
  • 적외선 흡수를 감소시켜 Seal 온도 상승을 낮춘 제품
  • Lamp anneal, RTP sealing 등에 특화
Kalrez® 8575
  • 탄성 회복력을 향상시키고 Outgassing을 개선한 제품
  • ClF3와 같은 염소계 세정 가스에 대한 저항성을 개선
Chemical Process
Kalrez® 6375, Kalrez® 4079
Kalrez® 6375
  • 모든 습식 화학 공정에 사용
Kalrez® 4079
  • 건식 및 습식 공정에서 범용적으로 사용