KSM

Ferrofluidic Seal

Ferrofluidic Seal란?

  • 자성을 띠는 유체를 이용하여 유체 오링을 형성하여 자기장으로 구속하는 원리의 밀봉장치
  • 회전운동을 진공 챔버 내로 전달하는 등 완전한 회전축의 밀봉을 가능하게 하는 장치
  • 반도체장비와 디스플레이산업의 진공용 로봇, 반도체장비의 웨이퍼 이송장치, LCD/OLED장비의 이송장치, 태양광산업의 Ingot 성장장비 등에 사용
  • 30년 이상의 경험 및 기술로 설계 시간 단축
  • 다양한
    어플리케이션 가능
  • 대량 예측 생산에 의한 단·납기 대응